Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility Giheung Tokyo Electron Precio XL DVIA-P4000 Installation Report
Contents
개요
- 2층 S1 Line, K2, Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility Giheung 캠퍼스에 설치된 DVIA-PB4000의 진동 측정을 수행했습니다.
- 장비 설치 전에 진동 제어 시스템의 정상 작동을 확인하기 위해 진동 측정을 수행했습니다.
- 데이터는 VC 곡선으로 표시되며, 진동 수준 평가를 위한 참조 자료가 제공됩니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-PB4000
시리얼 넘버: 251204R2
엔지니어
대일시스템 이채원
진동 기준
VC-E
장비 상태
장비 설치 안 됨
측정 장비
Data Physics DAQ
- Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
- Software: SignalCalc ACE
Accelerometer: PCB 393B05
측정 설정
- F Span: 200 Hz
- Lines: 3200
- Engineering Units: m/s
- Window: Hanning
- Averaging: FFT Spectrum Averaging
- Averaging mode: Exponential, 40
진동 제어 시스템 체크리스트
| No. | Inspection Item | Acceptance Criteria | Result |
|---|---|---|---|
| 13.1 | Displacement Sensor Setting | Z: 1.0 mm / X, Y: 3.0mm | ✓ PASS |
| 13.2 | Float Height | 2.5 mm | ✓ PASS |
| 13.3 | Servo Valve Output | 1.0 V – 8.0V | ✓ PASS |
Displacement Sensor Setting Image
Float Height Image
Servo Valve Output Image
결론
- 장비 설치 안 된 상태에서 진동 제어 시스템의 정상 작동을 확인하기 위해 진동 측정을 수행했습니다. DVIA-PB4000 모델은 장비 설치 안 된 상태에서 설계된 진동 제어 성능을 완전히 전달하지 않습니다.
- 튜닝 및 측정 결과는 특정 주파수 대역에서 일부 방향에서 진동 기준을 초과했습니다; 그러나 이는 장비 설치 안 된 상태에서 발생하는 현상입니다. 장비 설치 후 재튜닝을 수행하고 정상 작동 조건에서 진동 기준을 충족할 것으로 예상됩니다.
- 이 검사의 목적은 진동 제어 시스템의 작동 상태 및 정상 작동을 확인하는 것이었으므로, 시스템 자체에 문제가 없음이 확인되었습니다.
측정 데이터
| 측정 지점 | 상태 | 축 | 측정 데이터 | 결과 |
|---|---|---|---|---|
| S1 Line, K2, Tier-1 Semiconductor Fabrication Facility Giheung Campus 1. Floor Vibration 2. DVIA-PB4000 | Equipment not installed | Vertical | VC-B @ 12.5 Hz | VC-E @ 12.5 Hz |
| Left to Right | VC-D @ 20 Hz | VC-C @ 20 Hz | ||
| Front to Back | VC-B @ 12.5 Hz | VC-E @ 12.5 Hz |
데이터 및 이미지
수직 VC 곡선
좌우 VC 곡선
전후 VC 곡선
참조
일반 진동 기준
Notes:
1. VC-A/B 측정은 8-80 Hz, VC-C~VC-G 측정은 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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