설치 보고서
DVIA-P Series
01-15-2026
ETRI Hitachi CS5000 DVIA-P4000 Installation Report
DVIA-P Series
Installation Report
ETRI
Hitachi
CS5000
Contents
개요
한국전자통신연구원 4동 G층 반도체설비실에 설치된 DVIA-P4000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 Turned off 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 251105R3
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
점검 날짜
2026년 01월 14일
설치 장소
한국전자통신연구원 4동 G층 반도체설비실
End User
한국전자통신연구원
고객사 장비
Manufacturer: Hitachi
Equipment: FEB CD Measurment SEM
Model: CS5000
장비 스펙
장비상태
장비 설치 및 Turned off
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 진동스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 진동 기준 | 측정값 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥진동 | DVIA-P4000 | 바닥진동 | DVIA-P4000 | ||||
| 한국전자통신연구원 4동 G층 반도체 설비실 1. 바닥진동 2. DVIA-P4000 | Turned off | Vertical | N/A | VC-C @ 31.5 Hz | VC-E @ 31.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | N/A | VC-C @ 31.5 Hz | VC-E @ 31.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | N/A | VC-C @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-P Series
작성일01-15-2026
태그
DVIA-P Series
Installation Report
ETRI
Hitachi
CS5000
