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설치 보고서
DVIA-M Series
06-26-2025

LG Innotek DVIA-MO1000 (250409R2) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
LG Innotek
DVIA-MO1000

개요

LG 이노텍 2층 광학 클러스터 실험실에 설치된 DVIA-MO1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

장비 Turned off 상태로 튜닝 및 진동측정 진행 후 고객사 요청에 따라 Front to Back 방향 진동을 Turned on 상태로 측정 진행하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-MO1000

시리얼 넘버: 250409R2

담당 엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

점검 일자

2025년 06월 25일

보고서 작성일

2025년 06월 26일

End User

LG 이노텍

튜닝 횟수

N/A

설치 장소

LG 이노텍 마곡사업장 2층 광학 클러스터 실험실

장비

Manufacturer: N/A

Equipment: N/A

Model: N/A

장비 상태

장비 Turned off / Turned on

진동 측정 장비

9.1) Data Physics DAQ

Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

Software: SignalCalc ACE

9.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200 Hz

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Averaging mode: Exponential, 40

측정 데이터

측정 장소상태방향FloorDVIA-MO1000
LG 이노텍 마곡사업장 2층 광학 클러스터 실험실
1. Floor
2. DVIA-MO1000
장비 Turned offVerticalVC-C @ 5 HzVC-G @ 5 Hz
Left to RightVC-E @ 4 HzVC-G @ 4 Hz
Front to BackVC-E @ 4 HzVC-G @ 4 Hz
장비 Turned onFront to BackVC-E @ 4 HzVC-G @ 4 Hz

데이터 및 이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospectrum

Front to Back Transmissibility

Front to Back VC Curves (equipment Turned on)

Front to Back Autospectrum (equipment Turned on)

Front to Back Transmissibility (equipment Turned on)

Reference

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일06-26-2025
태그
DVIA-M Series
Installation Report
LG Innotek
DVIA-MO1000