본문으로 바로가기
설치 보고서
DVIA-ML Series
03-04-2025

Fudan University JEOL STEM ARM200 DVIA-ML3000 (241021R4) Installation Report

DVIA-ML Series
Installation Report
Fudan University
JEOL
STEM
ARM200
Shanghai

Contents

개요

The DVIA-ML3000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-ML3000

시리얼 넘버: 241021R4

담당 엔지니어

Chaewon Lee, Jonghwa Suh from DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

March 4, 2025

End User

Fudan University

튜닝 횟수

1st

설치 위치

Shanghai

장비

제조사: JEOL

장비: STEM

모델: ARM200

장비 상태

The equipment is installed / Turned off

Tuning Request

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

12. 장비 사진

13. Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
작업장 (ISO)명확하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.800 (32,000)해당 없음
사무실 (ISO)감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.400 (16,000)해당 없음
주거 지역 (ISO)거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.200 (8,000)75
수술실 (ISO)감지되지 않는 진동. 수술실, 100배 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배 광학 현미경, 마이크로 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자 현미경(SEM/TEM) 포함 고정밀 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일의 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.1.56 (62.5)해당 없음
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.0.78 (31.25)해당 없음

*참고:*

- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미.

이 케이스 스터디 공유하기

케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ML Series
작성일03-04-2025
태그
DVIA-ML Series
Installation Report
Fudan University
JEOL
STEM
ARM200
Shanghai

관련 케이스 스터디

Fudan University JEOL STEM ARM200 DVIA-MB3000 (241021R4) Installation Report — 2025.03.04
DVIA-M Series

Fudan University JEOL STEM ARM200 DVIA-MB3000 (241021R4) Installation Report — 2025.03.04

03-04-2025자세히
Fudan University JEOL STEM JEM-ARM200F DVIA-M1000 (241021R4) Installation Report
DVIA-M Series

Fudan University JEOL STEM JEM-ARM200F DVIA-M1000 (241021R4) Installation Report

06-20-2025자세히
Shanghai Institute DVIA-MO3000 (220330R5-2) Installation Report
DVIA-ML Series

Shanghai Institute DVIA-MO3000 (220330R5-2) Installation Report

07-07-2023자세히