설치 보고서

DVIA-ML Series

04-30-2025

LSU Thermo Fisher S/TEM Spectra 200 Installation Report

DVIA-ML Series

Installation Report

Thermo Fisher Scientific

S/TEM

LSU

개요

The DVIA-M3000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-M3000

시리얼 넘버: 231113R1

담당 엔지니어

DAEIL SYSTEMS 이채원

튜닝 일자

2025년 4월 30일

튜닝 횟수

1st

최종 사용자

LSU

장비 상태

Manufacturer: Thermo Fisher Scientific

Equipment: S/TEM

Model: Sprectra 200

The equipment is installed/IDLE

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

참조

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
작업장 (ISO)	명확하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	해당 없음
사무실 (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	해당 없음
주거 지역 (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
수술실 (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배 광학 현미경, 마이크로 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자 현미경(SEM/TEM) 포함 고정밀 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일의 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	해당 없음
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	해당 없음

*참고:*

- 8-80 Hz (VC-A/B) 또는 1-80 Hz (VC-C ~ VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-ML Series

작성일04-30-2025

태그

DVIA-ML Series

Installation Report

Thermo Fisher Scientific

S/TEM

LSU

LSU Thermo Fisher S/TEM Spectra 200 Installation Report

목차

개요

진동 제어 시스템 정보

담당 엔지니어

튜닝 일자

튜닝 횟수

최종 사용자

장비 상태

데이터 및 이미지

참조

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