설치 보고서
DVIA-M Series
07-27-2023
Samsung SDI SAMSUNG SAIT DVIA-MB1000 (221214R2-1) ZEISS Geminisem 550 Installation Report
DVIA-M Series
Installation Report
Samsung SDI
ZEISS
Geminisem 550
DVIA-MB1000
Samsung SAIT
목차
개요
DVIA-MB1000 능동 제진 플랫폼은 적절히 설치되어 있으며 의도한 대로 작동하고 있다. ZEISS 장비가 전원 켜진 상태에서 진동 계측이 수행되었다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-MB1000 — 시리얼 번호: 221214R2-1
엔지니어
대일시스템 Sangjae Lee, Jongwon park
튜닝 일자
2023년 7월 26일
보고서 작성일
2023년 7월 27일
출장 일정
Date of business trip : 17.12.27~17.12.29
Prepared for
Samsung SDI
설치 위치
Samsung SAIT L5 Research Building, B1 Floor, Suwon
고객사 장비
제조사: ZEISS — FE-SEM — Model: Geminisem 550
진동 결과 요약
| 측정 지점 | Z축(수직) 1–10 Hz | Z축(수직) 10–80 Hz | X축(좌우) 1–10 Hz | X축(좌우) 10–80 Hz | Y축(전후) 1–10 Hz | Y축(전후) 10–80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | E | F | F | G | G | G |
| Active | G | G | G | G | G | G |
현장 참고
When measuring the MB1000 top plate, the vibration of the ZEISS equipment appears in the 40-63Hz band.
데이터 및 이미지
Z-axis (Vertical) Floor VC-Curve
Z-axis (Vertical) DVIA-MB1000 VC-Curve
X-axis (Left to Right) Floor VC-Curve
X-axis (Left to Right) DVIA-MB1000 VC-Curve
Y-axis (Front to Back) Floor VC-Curve
Y-axis (Front to Back) DVIA-MB1000 VC-Curve
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일07-27-2023
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Samsung SDI
ZEISS
Geminisem 550
DVIA-MB1000
Samsung SAIT
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