설치 보고서

DVIA-ULF Series

05-23-2022

Chengdu Jijia Technology TESCAN MIRA DVIA-UB700 (220221R1) Installation Report

DVIA-UB Series

Installation Report

DVIA-UB700

220221R1

TESCAN

MIRA

Chengdu

Chengdu Jijia Technology

Prepared for

Chengdu Jijia Technology (YIMO)

Prepared by

Engineer: Hosang.Yu

Tuning date: 22.05.20

Report written date: 22.05.23

Date of business trip : 17.12.27~17.12.29

Overview

The DVIA-UB700 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

System information

Model: DVIA-UB700(1140x910)

Serial Number: 220221R1

Engineer: Hosang.Yu, from DAEIL SYSTEMS

Tuning Date: May 20, 2022

Location: China: Chengdu Jijia Technology. Chendgu,3F

Equipment: TESCAN MIRA

Summary of Vibration Results

Measurement Point	VC curves	Z-axis (Vertical)<br />1-10 Hz	Z-axis (Vertical)<br />10-80 Hz	X-axis (Left to Right)<br />1-10 Hz	X-axis (Left to Right)<br />10-80 Hz	Y-axis (Front to Back)<br />1-10 Hz	Y-axis (Front to Back)<br />10-80 Hz
Floor		E	B	D	E	C	E
Active		F	E	G	F	E	F

Data and Image (Equipment Turn on)

Z-axis (Vertical) VC curves

Z-axis (Vertical) Transmissibility — 1–10 Hz

Z-axis (Vertical) Transmissibility — 10–80 Hz

X-axis (Left to Right) VC curves

X-axis (Left to Right) Transmissibility — 1–10 Hz

X-axis (Left to Right) Transmissibility — 10–80 Hz

Y-axis (Front to Back) VC curves

Y-axis (Front to Back) Transmissibility — 1–10 Hz

Y-axis (Front to Back) Transmissibility — 10–80 Hz

참조

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학현미경, 마이크로밸런스, 광학밸런스에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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