설치 보고서

DVIA-ULF Series

04-18-2019

Institute for Basic Science (IBS) NIKON SMZ745 UD350 P10 Performance Report (April 2019)

DVIA-U Series

Installation Report

DVIA-UD350

Institute for Basic Science

NIKON

Performance Report

2019

P10

기초과학연구원 UD350 P10

현장 확인 항목

Target equipment	NIKON_SMZ 745
Place of installation	기초과학연구원 2층 분석실
Remark	제진대 성능 양호
END USER	기초과학연구원

출장·작성 정보

항목	내용
출장일	19.04.17
출장자	최형문
작성일	19.04.18

개요

제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.

측정일: 2019.04.17(화), 측정자: 대일시스템 최형문 과장

측정장소 : 기초과학연구원 2층 분석실

장비 모델 : NIKON

Measurement summary (VC-Class)

Test Condition	VC-Class (일반 조건)
	Z
건물 바닥	C
제진대 상판	G

전 방향 성능이 양호하며, VC-Class그래프를 첨부함.

측정 조건은 일반 조건( SEM 펌프 가동 )과 평상시 조건(SEM/코팅기 펌프 가동/사람이 걸어 다닐 때)으로 측정함.

주변 펌프가 작동하거나 사람이 돌아다니는 등 환경이 변화해도 제진대 상부의 진동 환경에는 큰 영향을 주지 않음.

UD350 internal program performance measurement result

Z axis (internal program)

X axis (internal program)

Y axis (internal program)

Octave Band Result (BASE: Floor, TOP: isolator top plate)

Z axis (octave band)

X axis (octave band)

Y axis (octave band)

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