설치 보고서
DVIA-M Series
10-12-2016
Samsung Display Giheung MB1000_P30 TESCAN MIRA3 AMU Vibration Environment Measurement Report (2016-10-12)
DVIA-M Series
Installation Report
Samsung Display
TESCAN
MIRA3 AMU
MB1000
Passive isolation
목차
보고 식별
MB1000_P30 진동환경 측정 결과 (삼성 디스플레이 기흥사업장).
타겟 장비
TESCAN MIRA3 AMU
출장일
2016.09.28 (수)
작성일
2016.10.12 (수)
출장자
임종욱 주임
개요
제진대 설치 후 진동환경을 측정하여 장비 사용에 문제가 없는지 확인함.
측정일
2016. 09. 28(수), 측정자: 대일시스템 임종욱 주임
측정 장소
삼성 디스플레이 기흥 사업장
장비 모델
TESCAN MIRA3 AMU
측정 조건 및 결과
측정 조건
연구동 바닥(BASE)과 제진대 상부(TOP)를 측정함.
측정결과 요약
| 측정 조건 | 수직(Z) | 수평(X) | 수평(Y) |
|---|---|---|---|
| 연구동 바닥(BASE) | A | A+ | A |
| 제진대 상부(TOP) | E | E | E |
제진대가 설치된 바닥은 전 방향 A Class 이상으로 측정됨.
제진대의 상부는 전 방향 E Class 로 측정됨.
제진대의 성능이 매우 양호함.
VC-Class그래프를 첨부하였음.
진동환경 VC-CLASS 그래프
수직축(Z) 진동레벨
수평축(X) 진동레벨
수평축(Y) 진동레벨
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일10-12-2016
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Samsung Display
TESCAN
MIRA3 AMU
MB1000
Passive isolation
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