KIST Microscope DVIA-UD350 Inspection Report
Contents
Prepared by
Engineer: Jongwon Park
Report written date: 24.01.23
Overview
DVIA-UD350에 안착된 현미경 사용 중 주변 보행 시 화면에 흔들림이 보이는 현상으로 점검 요청 받았습니다.
출장 키트(DSP Board, Geophone sensor, LCD Board) 구비 후 출장 방문했습니다.
DVIA-UD350을 PC와 연결하여UI Program을 통한 점검, 진동 측정 장비를 이용한 점검 진행했습니다.
System Information
Model: DVIA-UD350
Serial Number: 220127R1-2
Engineer
Taewoong Yeo from DAEIL SYSTEMS
Inspection Date
January 19, 2024
Location
한국과학기술연구원 L7223, 서울
Equipment
Microscope
Number of Tuning Trial
1회차 (※ Setup 이후 첫 점검)
Summary of Vibration Results
| Measurement Point | Z-axis (Vertical) 1-10 Hz | Z-axis (Vertical) 12.5-80 Hz | X-axis (Left to Right) 1-10 Hz | X-axis (Left to Right) 12.5-80 Hz | Y-axis (Front to Back) 1-10 Hz | Y-axis (Front to Back) 12.5-80 Hz |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Floor | G | C | G | E | G | E |
| Active | G | G | G | F | G | G |
Vibration Measurement
9.1) PULSE 22
Hardware: Bruel & Kjaer Type 3050-A-040
Software: LapShop Application(PULSE Lapshop)
9.2) Measurement Setting
Bandwidth: 0 – 200 Hz
Lines: 801
Analyzer: FFT Spectrum Averaging
Signal Units:
Spectral Units: RMS
9.3) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
Conclusion
최초 접수 당시 문제였던 주변 보행 시 고객이 보유하고 있는 측정장비Microscope 화면 흔들림 증상은 제진대 점검을 진행할 시 재현되지 않았습니다.
상부(top plate), 하부(FLOOR)에 진동 측정용 가속도 센서를 부착하여 X, Y, Z축 측정을 통해 VC Curve, Transmissibility curve를 표기하였습니다.
VC Curve, Transmissibility curve 분석 결과, 10Hz 이하의 저주파 대역에서는 X, Y, Z축 모두 VC-G입니다.
10Hz 이상의 고주파 대역에서는 Z축과 Y축은 VC-G, X축은 VC-F 단계로 지반진동이 감쇠되었습니다.
VC-G, VC-F 수준은 high-end FE-SEM에서 요구하는 진동스펙입니다.
Data and Image
11.1 Transmissibility Curve (UI Program)
Z axis (Vertical) Transmissibility
4Hz대역에서 -14.92dB, 10Hz대역에서 -21.91dB로 정상적인 제진 성능을 보입니다.
Z axis (Vertical) VC Curve
PULSE22를 이용하여 센서를 DVIA-UD350 top plate, Floor에 부착하여 측정한 결과 3Hz대역부터 지반 진동을 감쇠하고, 31.5Hz 대역에서 지반 진동이 VC-C이지만,
DVIA-UD350 상부 측정 결과 VC-G까지 감쇠하며 정상적인 진동 감쇠 성능을 보입니다.
X axis (Left to Right) Transmissibility
4Hz대역에서 -15.47dB, 10Hz대역에서 -24.22dB로 정상적인 제진 성능을 보입니다.
X axis (Left to Right) VC Curve
PULSE22를 이용하여 센서를 DVIA-UD350 top plate, Floor에 부착하여 측정한 결과 3Hz대역부터 지반 진동을 감쇠하고, 63Hz 대역에서 지반 진동이 VC-E이지만, DVIA-UD350 상부 측정 결과
VC-G까지 감쇠합니다.
Y axis (Front to Back) Transmissibility
4Hz대역에서 -15.45dB, 10Hz대역에서 -27.72dB로 정상적인 제진 성능으로 보입니다.
Y axis (Front to Back) VC Curve
PULSE22를 이용하여 센서를 DVIA-UD350 top plate, Floor에 부착하여 측정한 결과 3Hz대역부터 지반 진동을 감쇠하고, 6.3Hz - 8Hz 대역에서 역전됩니다. 이 역전 현상은 DVIA-UD350의 진동 감쇠 능력이 출력되기에는 매우 낮은 지반 진동(VC-G)에 의해 발생하는 현상입니다.
63Hz 대역에서 지반 진동이 VC-E이지만, DVIA-UD350 상부 측정 결과 VC-G까지 감쇠합니다.
Transmissibility Curves Curve
PULSE22 진동 측정을 이용하여 DVIA-UD350 top plate와 하부 Floor에 진동 측정용 가속도 센서를 부착시켜0-200Hz대역에서 1Hz당 4개의 Data를 (RMS) 단위로 측정했습니다.
측정한 값을 이용하여 VC-Curve Curve 및 Transmissibility Curve를 표시할 수 있습니다.
Transmissibility(진동 전달률) = 상부 부착 센서의 진동 측정 값 하부 부착 센서의 진동 측정 값
저주파 대역에서 매우 적은 지반 진동(VC-G)으로 인하여 다소 낮은 전달률을 보이지만 1이상의 값(진동 증폭)을 보이지 않습니다.
설치 사진
Reference
Notes:
- As measured in one-third octave bands over 8-80 Hz (VC-A/B) or 1-80 Hz (VC-C through VC-G).
- Detail size refers to width in microelectronics fabrication or particle size in medical research.
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