액티브 제진 시스템
액티브 제진 시스템
반도체, 디스플레이, NanoFab, Nano Research 등 대부분의 초정밀 공정 및 측정연구분야에서 기존의 Passive 제진대에 센서와 액추에이터를 장착하여 저주파 대역의 미세진동을 효과적으로 제어하기 위한 장치입니다. 진동 센서를 통해 실시간으로 측정된 진동 데이터를 Controller의 DSP(Digital Signal Processor)로 보내고 연산하여 액추에이터가 반대위상의 힘을 발생시키도록 제어합니다. 따라서, 진동이 실시간으로 상쇄되어 모든 주파수 대역에서 고성능의 제진이 이루어집니다.
저주파수 대역에서 뛰어난 제진성능
Passive 제진 시스템은 1 – 10 Hz의 저주파 대역에서 고유진동수의 공진현상으로 제진 효과가 적은 반면, Active 시스템은 0.5 Hz 미만의 공진주파수를 갖도록 설계되었기 때문에, 모든 주파수 대역에서 월등히 뛰어난 제진 성능을 발휘합니다. 0.5Hz부터 제진이 시작되며, 10 Hz에서 99%에 달하는 제진 성능을 보여줍니다.
제어알고리즘 (Feedback & Feed-Forward Vibration Control Algorithms)
A 스테이지 피드포워드
액티브 제어시스템이 스테이지에 대한 정보를 미리 알고 있으면, 제진 장치가 설치되어 있는 상판에 가해지는 힘과 동일한 반대의 힘을 발생시킬 수 있습니다. 그 결과, 스테이지의 이동으로 발생한 힘(진동)이 효과적으로 제어됩니다.
액티브 제어시스템이 스테이지에 대한 정보를 미리 알고 있으면, 제진 장치가 설치되어 있는 상판에 가해지는 힘과 동일한 반대의 힘을 발생시킬 수 있습니다. 그 결과, 스테이지의 이동으로 발생한 힘(진동)이 효과적으로 제어됩니다.
B 가속도 피드백
가속 피드백 시스템에서 가속도 센서는 장비에 영향을 주는 진동을 지속적으로 탐지하여 제어합니다.
가속 피드백 시스템에서 가속도 센서는 장비에 영향을 주는 진동을 지속적으로 탐지하여 제어합니다.
C 포지션 피드백
제진 장치 위의 장비가 진동 등으로 영향을 받게 되면, 위치센서가 변위를 측정하여 디지털 컨트롤러로 전송합니다. 센서를 통해 신호를 받게 되면 컨트롤러는 액추에이터를 조절하여 변화된 위치를 초기에 설정했던 원위치로 돌아가게 제어합니다.
제진 장치 위의 장비가 진동 등으로 영향을 받게 되면, 위치센서가 변위를 측정하여 디지털 컨트롤러로 전송합니다. 센서를 통해 신호를 받게 되면 컨트롤러는 액추에이터를 조절하여 변화된 위치를 초기에 설정했던 원위치로 돌아가게 제어합니다.
D 플로어 피드포워드
바닥진동이 장비에 미치는 영향을 예측하여 상쇄력을 발생시켜 진동이 상판까지 도달하지 못하게 제어합니다.
바닥진동이 장비에 미치는 영향을 예측하여 상쇄력을 발생시켜 진동이 상판까지 도달하지 못하게 제어합니다.
6 자유도 (Six Degrees of Freedom)
제진대 내부에 장착된 센서와 액추에이터를 통해 6축(X, Y, Z, PITCH, ROLL, YAW)의 진동을 측정하여 실시간으로 제어합니다.
