대일시스템

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DVIM-F Series
에어스프링 공압식 아이솔레이터

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DVIM-F 아이솔레이터는 에어스프링을 사용하여 수직 및 수평 방향에서 기본적인 제진성능을 보여주며
합리적인 가격으로 진동 제어시스템을 구성할 수 있습니다.

 

내구성이 뛰어난 공압식 제진 마운트

에어 스프링을 탑재하는 DVIM-F 아이솔레이터는 수직, 수평 축 기본적인 진동 제진성능 보여주며, 저렴한 가격으로 이용 가능합니다. 또한 DVIM-F 아이솔레이터는 에어스프링을 사용하여 진동을 제어하는데, 매우 뛰어난 내구성을 지닌 에어스프링은 DVIM-F 아이솔레이터의 수명을 연장시켜 장기간 사용 중에도 교체의 우려가 없습니다. DVIM-F 아이솔레이터는 진동 제어나 감쇠 및 안정화 시간이 비교적 덜 요구되는 장비에 적합합니다.

고정밀 레밸링 밸브

높은 반복정밀도(leveling repeatability)가 요구되는 경우, 정밀형(±0.05mm) 레밸링 밸브를
아이솔레이터에 장착하여 장비의 안정화 시간(settling time)을 단축시킬 수 있습니다.

 

10 Hz 에서 40 – 50% 제진성능 (댐퍼 사용안할시)

 
DVIM-F-Basic-Pneumatic-Vibration-Isolator-Performance
 
 
Vibration Isolation System Pneumatic Isolation System
Load Capacity 100–60000 kg
Resonant Frequency 5.0–6.0 Hz
Vibration Isolation at 10 Hz 40-50% (Without Oil Damper)
Automatic Leveling Yes
Accuracy of Leveling Repeatability ±1.0 mm for Standard Leveling Valve
±0.05 mm for Precision Leveling Valve
 

빠른 정착시간 - 오일 댐퍼 옵션

DVIM-F 아이솔레이터에 내장형 오일 댐퍼 (Built-in Oil Damper)를 장착하면, XY 스테이지의 움직임이 감소 및 둔화 되어 탑재장비의
정착시간(settling time)이 줄어들고, 제진대의 강성이 높아집니다.

 
Model Dimensions (Floating)
L x W x H (mm)
Dimensions (Deflated)
L x W x H (mm)
Location of Bolt Hole
P x P (mm)
Weight Per Isolator
(kg)
Maximum Load Capacity
Per Isolator (kg)
Diameter of Bolt Hole
(⌀)
DVIM-F-500 220 x 220 x 152 180 x 180 x 142 160 x 160 11 500 10
DVIM-F-1000 240 x 240 x 152 200 x 200 x 142 180 x 180 16 1000 10
DVIM-F-1500 300 x 300 x 152 240 x 240 x 142 210 x 210 20 1500 10
DVIM-F-2000 320 x 320 x 152 270 x 270 x 142 240 x 240 35 2000 14
DVIM-F-2500 360 x 360 x 172 290 x 290 x 162 260 x 260 43 2500 14
DVIM-F-3000 380 x 380 x 172 320 x 320 x 162 290 x 290 50 3000 14
 
"D" indicates DVIM-F isolators with built-in oil dampers.
Model Dimensions (Floating)
L x W x H (mm)
Dimensions (Deflated)
L x W x H (mm)
Location of Bolt Hole
P x P (mm)
Weight Per Isolator
(kg)
Maximum Load Capacity
Per Isolator (kg)
Diameter of Bolt Hole
(⌀)
DVIM-F-500D 220 x 220 x 152 180 x 180 x 142 160 x 160 11 500 10
DVIM-F-1000D 240 x 240 x 152 200 x 200 x 142 180 x 180 16 1000 10
DVIM-F-1500D 300 x 300 x 152 240 x 240 x 142 210 x 210 20 1500 10
DVIM-F-2000D 320 x 320 x 152 270 x 270 x 142 240 x 240 35 2000 14
DVIM-F-2500D 360 x 360 x 172 290 x 290 x 162 260 x 260 43 2500 14
DVIM-F-3000D 380 x 380 x 172 320 x 320 x 162 290 x 290 50 3000 14
 

DVIM-F-Basic-Pneumatic-Vibration-Isolator-Order

 
 
 

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