대일시스템

대일시스템

DVIA-M Series
나노스케일 이미징을 위한 액티브 제진시스템

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  • Overview
  • Features
  • Performance
  • Specifications
  • Applications
  • Resources
 

DVIA-M 시리즈는 세계에서 가장 뛰어난 제진 성능을 가진 내장형 액티브 제진 시스템으로, 다양한 플랫폼에
통합되어 나노 스케일 이미징 장비 내부에 장착이 되어 저주파 진동을 효율적으로 제어합니다.

 
 

월등한 제진 성능

정교한 제어 알고리즘이 DVIA-M 시리즈에 적용되었으며, 1 Hz 에서 50% – 80% 제진 성능을 발휘합니다.

 

빌트인 액티브 제진 시스템

DVIA-M 시리즈는 전자 현미경과 같은 나노 스케일 이미징을 위한
빌트인(Built-In) 액티브 시스템으로 설계되었습니다.

 

피드백 및 피드 포워드 제어 알고리즘

DVIA 시리즈는 피드백(Feedback) 제어 알고리즘을 사용하여 진동을 지속적으로 감지하고 즉각적으로 반응하여 진동을 실시간으로 최소합니다. 피드포워드(Feedforward) 제어 알고리즘은 지반 진동이 액티브 제진대위에 탑재되어 있는 장비에 진동이 전달되기전에 미리 지반진동을 감쇠시켜 효율적인 제진성능을 발휘시킵니다.

Built-In Active Vibration Isolation System
 

6 자유도(6 DOF) 진동제어

액티브 제진대 내부에 장착된 센서와 액추에이터를 통해 6축(X, Y, Z, PITCH, ROLL, YAW)의 진동을 측정하여 실시간으로 제어합니다.

DVIA-M-Absolute-Control-of-Vibrations-in-All-Six-Degrees-of-Freedom
 

최상의 성능을 위한 현장 맞춤 튜닝

지반진동 수준은 설치 장소, 주변 환경, 불규칙한 상황 및 다양한 진동원에 따라 다릅니다. 대일시스템은 숙련 된 엔지니어가 직접 액티브 시스템의 현장 맞춤 튜닝을 제공하여 최상의 성능과고객 만족을 보장합니다. 엔지니어는 진동 현장 조사를 통해 피드백 및 피드 포워드 제어 알고리즘을 조정하는데 사용되는 지반진동 레벨을 측정하여 제진 성능을 극대화하여 진동 요구스펙을 충족시킵니다.

1 Hz 에서 50% - 80% 제진 성능
2 Hz 이상부터 90% 이상의 제진 성능

DVIA-M-Performance
 
Model DVIA-M1000 DVIA-M3000 DVIA-M6000
Isolator Dimensions (L x W x H) 190 x 190 x 178 mm 232 x 232 x 180 mm 308 x 308 x 180 mm
Load Capacity 500 - 1700 kg 1500 - 3500 kg 3000 - 6000 kg
Actuator Electromagnetic Actuator
Maximum Actuator Force Vertical: 40 N, Horizontal: 20 N Vertical: 80 N, Horizontal: 40 N
Degrees of Freedom 6 degrees
Active Isolation Range 0.5 - 100 Hz
Vibration Isolation at 1 Hz 50% - 80%
Vibration Isolation at ≥2 Hz ≥ 90%
Input Voltage (V) AC100 - 240V / 50 - 60 Hz / 1A
Power Consumption (W) Maximum 110W, <50 W in normal operation
Operating Range Temperature (°C) 5 - 50 °C
Humidity (%) 20 - 90%
Required Air Pressure ≥ 0.5 MPa (5 bar)
 
 

Scanning Electron Microscopy

Transmission Electron Microscopy

Scanning Transmission Electron Microscopy

Scanning Tunneling Electron Microscopy

 

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