대일시스템

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DVIM-M Series
멤브레인 공압식 아이솔레이터

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DVIM-M 시리즈 아이솔레이터는 신속한 장비 장착 시간(settling time)과 우수한 진동 제어 및 감쇠 성능을 보여주는 표준 모델입니다.

 

탁월한 진동 제어

DVIM-M 멤브레인 공압식 아이솔레이터는 높은 수준의 수직 및 수평 축 제진성능을 제공하며,
무겁고 빠르게 움직이는 리니어 XY 스테이지의 진동을 효과적으로 감쇠하는데 최적화되어 있습니다.

고정밀 레밸링 밸브

높은 반복정밀도(leveling repeatability)가 요구되는 경우, 정밀형(±0.05mm) 레밸링 밸브를
아이솔레이터에 장착하여 장비의 안정화 시간(settling time)을 단축시킬 수 있습니다.

 

10 Hz 에서 80 – 90% 제진성능 (댐퍼 사용안할시)

 
DVIM_M_Performance
 
Vibration Isolation System Pneumatic Isolation System
Load Capacity 100–60000 kg
Resonant Frequency 2.5–4.0 Hz
Vibration Isolation at 10 Hz 80–90% (Without Oil Damper)
Automatic Leveling Yes
Accuracy of Leveling Repeatability ±1.0 mm for Standard Leveling Valve
±0.05 mm for Precision Leveling Valve

BUILT-IN OIL DAMPER for Better Stability
and Faster Settling Time

The built-in oil dampers are installed with stoppers to limit the linear stage from moving beyond certain stroke range in the three horizontal directions.

The built-in oil damper provide high level of damping by an oil inside the dampers.
The higher the visocosity of the oil, the stiffer pneumatic vibration isolators which leads
to reduce the settling time, but the transmissibility roll-off rate decreases.

 
Model Dimensions (Floating)
L x W x H (mm)
Dimensions (Deflated)
L x W x H (mm)
Location of Bolt Hole
P x P (mm)
Weight Per Isolator
(kg)
Maximum Load Capacity
Per Isolator (kg)
Diameter of Bolt Hole
(⌀)
DVIM-M-100 180 x 180 x 150 180 x 180 x 144 160 x 160 11 100 10
DVIM-M-300 200 x 200 x 150 200 x 200 x 144 180 x 180 16 300 10
DVIM-M-600 240 x 240 x 170 240 x 240 x 164 210 x 210 20 600 10
DVIM-M-900 270 x 270 x 190 270 x 270 x 184 240 x 240 35 900 14
DVIM-M-1200 290 x 290 x 190 290 x 290 x 184 260 x 260 43 1200 14
DVIM-M-1500 320 x 320 x 190 320 x 320 x 184 290 x 290 50 1500 14
DVIM-M-2000 370 x 370 x 190 370 x 370 x 184 340 x 340 56 2000 18
DVIM-M-2500 390 x 390 x 190 390 x 390 x 184 360 x 360 63 2500 18
DVIM-M-3000 440 x 440 x 190 440 x 440 x 184 410 x 410 80 3000 18
DVIM-M-4500 450 x 450 x 190 450 x 450 x 184 420 x 420 85 4500 18
 
"D" indicates DVIM-M isolators with built-in oil dampers.
Model Dimensions (Floating)
L x W x H (mm)
Dimensions (Deflated)
L x W x H (mm)
Location of Bolt Hole
P x P (mm)
Weight Per Isolator
(kg)
Maximum Load Capacity
Per Isolator (kg)
Diameter of Bolt Hole
(⌀)
DVIM-M-100D 180 x 180 x 150 180 x 180 x 144 160 x 160 11 100 10
DVIM-M-300D 200 x 200 x 150 200 x 200 x 144 180 x 180 16 300 10
DVIM-M-600D 240 x 240 x 170 240 x 240 x 164 210 x 210 20 600 10
DVIM-M-900D 270 x 270 x 190 270 x 270 x 184 240 x 240 35 900 14
DVIM-M-1200D 290 x 290 x 190 290 x 290 x 184 260 x 260 43 1200 14
DVIM-M-1500D 320 x 320 x 190 320 x 320 x 184 290 x 290 50 1500 14
DVIM-M-2000D 370 x 370 x 190 370 x 370 x 184 340 x 340 56 2000 18
DVIM-M-2500D 390 x 390 x 190 390 x 390 x 184 360 x 360 63 2500 18
DVIM-M-3000D 440 x 440 x 190 440 x 440 x 184 410 x 410 80 3000 18
DVIM-M-4500D 450 x 450 x 190 450 x 450 x 184 420 x 420 85 4500 18
DVIM_M_Series_Order
 
 
 

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