DVIM-F

보급형 공압식

제진 마운트

Features

내구성이 뛰어난 공압식 제진 마운트

 

에어 스프링을 탑재하는 DVIM-F 아이솔레이터는 수직, 수평 축 기본적인 진동 제진성능 보여주며, 저렴한 가격으로 이용 가능합니다. 또한 DVIM-F 아이솔레이터는 에어스프링을 사용하여 진동을 제어하는데, 매우 뛰어난 내구성을 지닌 에어스프링은 DVIM-F 아이솔레이터의 수명을 연장시켜 장기간 사용 중에도 교체의 우려가 없습니다. DVIM-F 아이솔레이터는 진동 제어나 감쇠 및 안정화 시간이 비교적 덜 요구되는 장비에 적합합니다.

고정밀 레밸링 밸브

세 개의 양방향 레벨링 밸브가 시스템의 수평을 자동으로 유지시키는데, 레벨반복정밀도 ±0.1 mm 의 표준형 규격 밸브부터 ±0.05 mm의 정밀형 밸브까지 다양한 사양으로 제공됩니다.

특히 DVIM-M 아이솔레이터에 A.O.V 밸브를 사용하면, 공기의 흐름을 효율적으로 조절함으로써 무거운 스테이지가 움직이면서 발생된 수직, 수평 방향의 진동을 더욱 빠르게 감쇠시켜 전체적인 시스템을 신속히 안정시킬 수 있습니다.

빠른 정착시간 - 오일 댐퍼 옵션

DVIM-F 아이솔레이터에 내장형 오일 댐퍼 (Built-in Oil Damper)를 장착하면, XY 스테이지의 움직임이 감소 및 둔화 되어 탑재장비의 정착시간(settling time)이 줄어들고, 제진대의 강성이 높아집니다.

적용분야

  • Linear XY stages

  • Semiconductor/FPD Manufacturing Inspection Systems

  • Optical Laser Equipment

  • OEM 

Performance

Settling Time

Specifications

Ordering Chart

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