대일시스템

대일시스템

Vibration Solution for AUTOMATED AFM
DVIA-P

Active Pneumatic Vibration Isolation System
for Semiconductor Metrology

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  • Overview
 

DVIA-P Series 는 특별히 반도체 공정에서 웨이퍼(wafer) 를 측정하기 위해 쓰이는 장비들을 제진하기 위해 제작되었습니다.
웨이퍼 공정 장비에서 광학직접회로 (photonics integrated circutis) 가 스테이지 장비 (linear stages) 탑재 되어서 공정을 진행 하는데, 이때 움직이는 스테이지에 의해서 진동이 발생 하게 됩니다. 이러한 반도체 장비들은 진동에 저주파 진동에 매우 민감하여
많은 영향을 받습니다. DVIA-P Series 액티브 제진시스템이 이러한 진동을 감소 시켜주고 빠르게 안정화 시켜주어
웨이퍼 측정이 원활하게 하도록 합니다.

 

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