Tier-1 Semiconductor Giheung K2 S1 Tokyo Electron Precio XL DVIA-P4000 Installation Report
Contents
개요
Tier-1 Semiconductor 기흥사업장 K2 S1라인 2층에 설치된 DVIA-PB4000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 설치 전 제진대 정상작동 점검을 위해 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-P4000
시리얼 넘버: 251204R2
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
튜닝 날짜
2026년 02월 26일
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 기흥사업장 K2 S1라인 2층
End User
Tier-1 Semiconductor
고객사 장비
Manufacturer: Tokyo Electron
Equipment: Wafer Prober
Model: Precio XL
장비 스펙
VC-E
장비상태
장비 미설치
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
제진대 점검 항목
전체 점검 항목에 대해 판정 기준을 만족하며, 최종 Pass 하였습니다.
| 번호 | 점검 항목 | 판정기준 | 점검 결과 |
|---|---|---|---|
| 13.1 | Displacement Sensor Setting | Z: 1.0 mm / X, Y: 3.0mm | ✓ PASS |
| 13.2 | Float Height | 2.5 mm | ✓ PASS |
| 13.3 | Servo Valve Output | 1.0 V – 8.0V | ✓ PASS |
Displacement Sensor Setting
Float Height
Servo Valve Output
결론
장비가 설치되지 않은 상태에서 제진대의 정상 작동 여부를 확인하기 위해 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다. DVIA-PB4000 모델의 경우 상부에 장비가 탑재되지 않은 상태에서는 설계된 제진 성능이 온전히 발휘되지 않는 특성이 있습니다.
튜닝 및 측정 결과 일부 방향에서 진동 스펙을 벗어나는 대역이 확인되었으나, 이는 장비 미탑재 상태에서 발생하는 현상입니다. 장비가 탑재된 후 정상 조건에서 재튜닝을 진행할 경우 모든 방향의 전 대역대에서 진동 스펙을 만족할 수 있을 것으로 예상됩니다.
본 점검의 목적이었던 제진대의 구동 상태 및 정상 작동 여부를 확인한 결과, 제진대 자체에는 이상이 없는 것으로 확인되었습니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 진동 스펙 | 측정값 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥진동 | DVIA-PB4000 | 바닥진동 | DVIA-PB4000 | ||||
| Tier-1 Semiconductor 기흥사업장 K2 S1라인 2층 1. 바닥진동 2. DVIA-PB4000 | 장비 미설치 | Vertical | VC-E | VC-B @ 12.5 Hz | VC-E @ 12.5 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-E | VC-D @ 20 Hz | VC-C @ 20 Hz | ✗ FAIL | ✗ FAIL | ||
| Front to Back | VC-E | VC-D @ 12.5 Hz | VC-E @ 12.5 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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