공압식 아이솔레이터
DVIM 시리즈는 전동 리니어 XY 스테이지(Motorized linear XY Stage)의 서브 시스템으로
스테이지의 운동으로 인해 발생하는 진동을 감소시키고 스테이지를 안정화하는데 탁월한 성능을
발휘합니다. DVIM 시리즈는 장비의 안정화 시간(Settling Time)을 최소화하고 뛰어난 진동 제어
및 감쇠 성능을 제공하기 때문에, 다양한 속도와 힘으로 움직이는 XY 스테이지의 최적의 성능을
구현하기에 가장 좋은 진동 제어 시스템입니다.
DVIM-G
고성능 공압식 아이솔레이터
- 가장 뛰어난 수준의 제진성능
- 장비의 안정화 시간을 빠르게 단축 시킴
- 탁월한 수평 & 수직 방향 진동 제어
- 두 개의 챔버 & 가변 오리피스 사용
- 레벨링 밸브 & A.O.V 밸브(선택사양)
- 아이솔레이터 개 당 최대 용량 : 6000kg
멤브레인 공압식 아이솔레이터
- 표준 수준의 제진성능
- 장비의 안정화 시간을 빠르게 단축 시킴
- 효과적인 수평 & 수직 방향 진동 제어
- 두 개의 챔버 & 가변 오리피스 사용
- 레벨링 밸브 & A.O.V 밸브(선택사양)
- 아이솔레이터 개 당 최대 용량 : 4500kg
DVIM-M
DVIM-F
에어스프링 공압식 아이솔레이터
- 기본적인 수준의 제진성능
- 비용-효율적인 XY스테이지의 서브시스템(Sub-System)
- 뛰어난 내구성
- 레벨링 밸브 & A.O.V 밸브(선택사양)
- 아이솔레이터 개 당 최대 용량 : 3000kg