DVIM-G Series
고성능 공압식 아이솔레이터
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DVIM-G 시리즈 아이솔레이터는 DVIM 시리즈 중 가장 뛰어난 성능의 공압식 아이솔레이터로
신속한 장비 장착 시간(settling time)과 우수한 제진성능을 보여줍니다.
월등한 진동 제어 성능
타사의 공기압식 아이솔레이터와 다르게, DVIM-G 아이솔레이터는 특별한 메카니컬 필터 시스템을 채용하여 탁월한 수평 방향의 진동 제어 성능을 자랑합니다. 수직 방향의 진동 제어 성능 또한 우수하여 무겁고 빠르게 움직이는 리니어 X-Y 스테이지의 진동을 매우 효과적으로 감쇠하는데 최적화되어 있습니다
듀얼 챔버 디자인
DVIM-G는 두 개의 챔버 시스템으로, 에어 챔버와 댐핑 챔버가 두 개의 오리피스로 연결되어 있는 구조입니다. 챔버 외부에는 가변 오리피스가 장착되어 있으며 챔버의 안쪽에는 내부 오리피스가 있습니다.이 오리피스들은 챔버들 사이의 공기 흐름을 조절하여 댐핑 효율을 향상시키는 한편 안정화 시간을 줄이는 역할을 합니다. 스테이지가 움직이면, 에어 챔버는 복원력(Restoring force)을 발생시키고, 오리피스를 통하여 에어가 댐핑 챔버로 흘러들어가게 됩니다. 이 오리피스들은 공기중의 에너지와 외란을 소멸시키는데 이로 인해 시스템의 진동이 감쇠되며 장비의 안정화 시간이 줄어들게 됩니다.
고정밀 레밸링 밸브
높은 반복정밀도(leveling repeatability)가 요구되는 경우, 정밀형(±0.05mm) 레밸링 밸브를
아이솔레이터에 장착하여 장비의 안정화 시간(settling time)을 단축시킬 수 있습니다.
5 Hz 에서 80 – 90% 제진성능 (댐퍼 사용안할시)
| Vibration Isolation System | Pneumatic Isolation System | ||||||||||||
| Load Capacity | 500–60000 kg | ||||||||||||
| Resonant Frequency | 1.2–2.0 Hz | ||||||||||||
| Vibration Isolation at 10 Hz | 90–99% (Without Oil Damper) | ||||||||||||
| Automatic Leveling | Yes | ||||||||||||
| Accuracy of Leveling Repeatability | ±1.0 mm for Standard Leveling Valve ±0.05 mm for Precision Leveling Valve |
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외장형 오일 댐퍼 옵션
외장형 오일 댐퍼는 수평 3방향에 스테이가 일정 스토르크 이상 벗어나지 않도록 스토퍼가 설치되어 있으며,
오일과 저항체에 의한 감쇠기능이 있습니다. 용도에 따라 사용하는 오일의 점성을 조절할 수 있으며,
오일의 점성 정도가 높아질수록 정착 시간은 줄어들지만, 제진성능은 다소 감소할 수 있습니다.
Air Operated Regulator Valve
Faster Settling TIme
아이솔레이터에 air operated regulator valve를 사용하면 공기 흐름 및 응답 속도를 높여
장비의 안정화 시간(settling time)을 단축시킬 수 있습니다.
| Model | Dimensions (Floating) L x W x H (mm) |
Dimensions (Deflated) L x W x H (mm) |
Location of Bolt Hole P x P (mm) |
Weight Per Isolator (kg) |
Maximum Load Capacity Per Isolator (kg) |
Diameter of Bolt Hole (⌀) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| DVIM-G-500 | 220 x 220 x 180 | 220 x 220 x 173.5 | 195 x 195 | 15 | 500 | 14 |
| DVIM-G-1000 | 280 x 280 x 180 | 280 x 280 x 173.5 | 250 x 250 | 30 | 1000 | 14 |
| DVIM-G-1500 | 320 x 320 x 180 | 320 x320 x 173.5 | 290 x 290 | 45 | 1500 | 18 |
| DVIM-G-2000 | 350 x 350 x 180 | 350 x 350 x 173.5 | 320 x 320 | 55 | 2000 | 18 |
| DVIM-G-3000 | 430 x 430 x 185 | 430 x 430 x 178.5 | 400 x 400 | 90 | 3000 | 18 |
| DVIM-G-4500 | 488 x 488 x 185 | 488 x 488 x 178.5 | 458 x 458 | 135 | 4500 | 19 |
| DVIM-G-6000 | 549 x 548 x 185 | 549 x 548 x 178.5 | 518 x 518 | 180 | 6000 | 19 |
| Model | Dimensions (Floating) L x W x H (mm) |
Dimensions (Deflated) L x W x H (mm) |
Bolt Hole for Top Plate P x P (mm) |
Bolt Hole for Bottom Plate P x P (mm) |
Diameter of Bolt Hole (⌀) |
|---|---|---|---|---|---|
| G-OIL DAMPER | 216 x 290 x 185 mm | 216 x 290 x 180 mm | 185 x 125 | 125 x 125 | 15 |
