DVIM-M

표준형 공압식

제진 마운트

DVIM 시리즈는 광학테이블 및 데스크 형 테이블에 사용되는 ISO 시리즈 공기압식 아이솔레이터보다 월등히 뛰어난 감쇠 성능을 제공합니다.  전동 리니어 XY 스테이지(Motorized linear XY Stage)의 서브시스템으로써

스테이지의 운동으로 인해 발생하는 진동을 감소시키고 스테이지를 안정시키는데 탁월한 성능을 발휘합니다. DVIM-M은 DVIM-G 하위 모델로서 신속한 장비 안정화 시간(Settling Time)과 우수한 진동 제어 및 감쇠 성능을 합리적인 가격으로 이용 가능합니다.

Features

탁월한 진동 제어 

DVIM-M 공기압식 아이솔레이터는 높은 수준의 수직 및 수평 축 진동 제어 성능을 제공하며, 무겁고 빠르게 움직이는 리니어 XY 스테이지의 진동을 매우 효과적으로 감쇠하는데 최적화되어 있습니다.

빠른 정착시간 - 오일 댐퍼 옵션

DVIM-M 아이솔레이터에 내장형 오일 댐퍼(Oil Damper)를 장착하면, XY 스테이지의 움직임이 감소 및 둔화 되어 탑재장비의 정착시간(settling time)이 줄어들고, 제진대의 강성이 높아집니다.

고정밀 레밸링 밸브

세 개의 양방향 레벨링 밸브가 시스템의 수평을 자동으로 유지시키는데, 레벨반복정밀도 ±0.1 mm 의 표준형 규격 밸브부터 ±0.05 mm의 정밀형 밸브까지 다양한 사양으로 제공됩니다.

특히 DVIM-M 아이솔레이터에 A.O.V 밸브를 사용하면, 공기의 흐름을 효율적으로 조절함으로써 무거운 스테이지가 움직이면서 발생된 수직, 수평 방향의 진동을 더욱 빠르게 감쇠시켜 전체적인 시스템을 신속히 안정시킬 수 있습니다.

적용분야

  • Linear XY stages

  • Semiconductor/FPD Manufacturing Inspection Systems

  • Optical Laser Equipment

  • OEM 

Performance

Settling Time

*Settling time is measured after 90% reduction of input. (The settling time varies with several conditions, such as payload, force, natural frequency, etc.) 

Specifications

내장형 오일댐퍼 장착

오일댐퍼 미장착

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