DVIA-MB

​초정밀 측정장비

 액티브 제진대

Certified

초정밀 측정장비를 위해 설계된 액티브 제진대

대일시스템은 SEM(Scanning Electron Microscopes)과 TEM(Transmission Electron Microscopes) 장비들을 위해 특별히 DVIA-MB를 고안하였습니다. DVIA-MB는 최첨단 액티브 진동 제어 베이스 플랫폼으로 전자현미경이 최상의 성능을 발휘하여 생물학, 비생물학 견본들을 고해상도 이미지로 구현할 수 있게 하는데 도움을 주고 있습니다. DVIA-MB 베이스 플랫폼은 모든 종류의 전자 현미경에 적합하도록 설계되었습니다.

업계 최고 성능  DVIA-M 액티브 아이솔레이터

DVIA-MB는 네 개의 액티브 아이솔레이터로 구성되어 있는데 DVIA-M 아이솔레이터 내부에는 에어 스프링과 액티브 시스템이 탑재되어 있습니다. 센서와 액츄에이터가 아이솔레이터 내부에 장착되어 있어 1-10Hz 저주파 대역의 진동을 제어하며, 에어스프링은 무거운 장비를 지탱하는 동시에 고주파 대역의 진동을 제어하는 역할을 합니다.

나노스케일의 이미지를 고해상도, 고배율로 구현

Before

DVIA-MB를 작동하지 않은 경우

Before

Passive를 작동한 경우

After

DVIA-MB를 작동한 경우

After

Active를 작동한 경우

전자현미경의 이미지를 고해상도, 고배율로 구현하기 위해 전자현미경은 반드시 DVIA-MB와 함께 사용되어야 합니다.

월등한 강성

패시브 제진 시스템(Air Spring)과 다르게 액티브 제진 시스템은 액추에어터가 외부로부터 들어오는 진동에 상응하는 반대의 힘(force)을 발생시키기 때문에 강성이 뛰어납니다. 그러므로 액티브 시스템으로 제어되는 베이스 플랫폼(Isolated Base Platform)은 패시브 시스템으로 제어되는 베이스 플랫폼과 같은 흔들림/동요/롤링(rolling)이 발생하지 않습니다.

​저주파대역에서 탁월한 제진성능

액티브 제진 시스템의 고유진동수는 패시브 제진 시스템보다 현저히 낮습니다. 상단의 그래프에서 명확하게 보여지듯이, 1-10Hz 의 저주파 대역에서 패시브 시스템은 고유진동수의 공진현상으로 진동제어 효과가 적은 반면, 액티브 시스템은 월등히 뛰어난 진동제어 성능을 발휘합니다.

진동에 극도로 민감한 장비들은 1-10Hz의 저주파 진동에 의해 불안정해지며 성능에 지장을 받게 되는데 DVIA-MB는 이러한 저주파 대역에서 매우 뛰어난 진동 제어 성능을 발휘합니다. 0.5Hz부터 제어가 가능하며 10Hz에서 99%에 달하는 진동 제어 효율을 나타냅니다.

피드백(Feedback) & 피드-포워드(Feed-forward) 제어 시스템

DVIA-MB 시리즈는 피드백(Feedback) & 피드-포워드(Feed-forward) 알고리즘을 채용하여 진동에 극도로 민감한 장비들을 저주파 대역부터 실시간으로 제어합니다.

6 자유도 진동 제어

DVIA-MB 시리즈의 내부에 장착된 센서와 액츄에이터는 6축 진동을(X, Y, Z, pitch, roll, yaw) 측정 하여 즉각적으로 제어합니다.

최상의 성능을 위한 현장 맞춤 튜닝

모든 설치 현장은 저마다의 진동 환경을 가지고 있습니다. 즉, 각각의 현장에 맞는 최적의 튜닝이 필요합니다. 따라서 대일시스템은 1-10Hz의 저주파 대역의 진동을 제어하는데 중요한 요인인 피드백(Feedback) & 피드-포워드(Feed-forward) 제어 시스템을 효율적으로 활용하기 위해 현장 맞춤 튜닝을 제공합니다. 현장 맞춤 튜닝이 아닌 경우, 액티브 제진 시스템은 성능을 100% 발휘할 수 없습니다.

Installation Photos

Specifications

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