DVIA-U Series

액티브 제진대 베이스 & 데스크 플랫폼

Certified

​DVIA-UB

Base Platform

​DVIA-UD

Desk Platform

모듈 타입 액티브 아이솔레이터

DVIA-U350, DVIA-U700은 모듈라(Modular) 액티브 아이솔레이터 플랫폼으로 고객의 장비무게 및 치수에 따라 선정 및 설계됩니다. 강력한 메탈 스프링은 패시브 진동제어역할을 해주어, 고중량의 장비를 지탱 하며 고주파 영역에서 탁월한 제진성능을 보여줍니다. 센서와 엑추에이터가 액티브 아이솔레이터 내부안에 설치되어 있어 저주파 영역인 1 - 10 Hz 에서 원활한 제진성능를 구현합니다. 

SEM 장비를 위한 비용-효율적인 액티브 제진 시스템

DVIA-UB 액티브 진동 제어 베이스 플랫폼은 SEM(Scanning Electron Microscopes)를 바닥 진동으로부터 분리하기 위한 가장 비용-효율적인 방안으로서 고안되었습니다.

다양한 용도에 부합하는 인체공학적 데스크 플랫폼

DVIA-UD 액티브 진동 제어 테이블 플랫폼은 다양한 종류의 초정밀 장비들을 바닥 진동으로부터 분리하기 위해 고안되었습니다. DVIA-UD는 브레드보드 또는 스틸 플레이트와 프레임으로 구성되어 있고, 서포트 프레임의 하부에는 캐스터 휠과 높이 조절자가 부착되어 있어 이동 및 설치에 용이합니다.

No air

DVIA-U 시리즈 액티브 제진 시스템은 동작하는데 압축공기를 필요로하지 않습니다. 아이솔레이터 내부의 강한 메탈 스프링은 무거운 하중을 지탱할 뿐만 아니라 고주파 대역의 진동을 제어하는 패시브 아이솔레이터로서의 역할을 합니다.

실시간 모니터링

​<DVIA-UB>

전면 패널에는 LCD 디스플레이가 장착되어 있어 사용자가 실시간으로 진동상태를 모니터링 할 수 있습니다.

고해상도의 나노스케일 이미지를 구현

Before

After

상단의 이미지를 통해 알 수 있듯이, 고해상도의 이미지 구현을 위하여 SEM 장비에는 DVIA-UB를 함께 사용해야 합니다.

뛰어난 제진 성능

​액티브 제진 시스템의 고유진동수는 패시브 제진 시스템보다 현전히 낮습니다. 상단의 그래프에서 명확하게 보여지듯이, 1-10 Hz의 저주파 대역에서 패시브 시스템은 고유진동수의 공진현상으로 진동제어가 효과가 적은 반면, 액티브 시스템은 월등히 뛰어난 진동제어 성능을 발휘합니다. 

월등한 강성

패시브 제진 시스템(Air Spring)과 다르게 액티브 제진 시스템은 액추에어터가 외부로부터 들어오는 진동에 상응하는 반대의 힘(force)을 발생시키기 때문에 강성이 뛰어납니다. 그러므로 액티브 시스템으로 제어되는 베이스 플랫폼(Isolated Base Platform)은 패시브 시스템으로 제어되는 베이스 플랫폼과 같은 흔들림/동요/롤링(rolling)이 발생하지 않습니다.

피드백(Feedback) & 피드-포워드(Feed-forward) 제어 시스템

DVIA-U 시리즈는 피드백(Feedback) & 피드-포워드(Feed-forward) 알고리즘을 채용하여 진동에 극도로 민감한 장비들을 저주파 대역부터 실시간으로 제어합니다.

6 자유도 진동 제어

DVIA-T 시리즈의 내부에 장착된 센서와 액츄에이터는 6축 진동을(X, Y, Z, pitch, roll, yaw) 측정 하여 즉각적으로 제어합니다.

최상의 성능을 위한 현장 맞춤 튜닝

모든 설치 현장은 저마다의 진동 환경을 가지고 있습니다. 즉, 각각의 현장에 맞는 최적의 튜닝이 필요합니다. 따라서 대일시스템은 1-10 Hz의 저주파 대역의 진동을 제어하는데 중요한 요인인 피드백(Feedback) & 피드-포워드(Feed-forward) 제어 시스템을 효율적으로 활용하기 위해 현장 맞춤 튜닝을 제공합니다. 현장 맞춤 튜닝이 아닌 경우, 액티브 제진 시스템은 성능을 100% 발휘할 수 없습니다.

​적용분야

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Specifications

*The size of table and base platforms varies with customers' requirements.

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40, Maengni-ro, Wonsam-myeon, Cheoin-gu, Yongin-si, Gyeonggi-do, Republic of Korea, Postal Code) 17166

Tel: +82-31-339-3375 

경기도 용인시 처인구 원삼면 맹리로 40 (주)대일시스템 우)17166

​대표전화번호: 031-339 3375   사업자번호: 117-81-15867