DVIA-P Series
반도체 초정밀 측정장비용 액티브 제진대
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- Features
- Performance
- Specifications
- Applications
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DVIA-P 시리즈는 초정밀 스테이지가 탑재되고 나노스케일 단위로 측정하는 웨이퍼 측정 장비를
외부진동으로부터 격리시키며 스테이지 장비의 신속한 안정화를 위해 공압 서보밸브 액추에이터를
사용하는 액티브 공압식 서보밸브형 액티브 제진 시스템입니다.
월등한 제진 성능
DVIA-P 시리즈는 2 Hz 에서 40% – 70% 의 제진성능을 발휘합니다.
초정밀 리니어 스테이지가 탑재된 웨이퍼 측정장비를 위해
설계된 액티브 제진 시스템
초정밀 리니어 스테이지가 빠른 가속도로 움직이면 큰 변위가 발행하게 됩니다. DVIA-P 시리즈의 가속도 피드백
컨트롤은 변위를 최소화하고 안정화 시간을 줄이며 시스템의 위치 정확도를 향상시킵니다. 또한, 실시간으로
측정된 스테이지 위치 변위의 아날로그 출력 및 가속도를 컨트롤러에 연결하면 스테이지 피드-포워드(SFF)
시스템을 가동할 수 있습니다. SFF시스템은 스테이지 회전모멘트와 스테이지 가진력에 비례하는 힘을
발생시키는데 이로 인하여 스테이지의 위치 변위를 극적으로 감소시킬 수 있습니다.
10μm 위치 정확도
위치 센서는 제진 시스템의 위치를 지속적으로 측정 한 다음 디지털 신호 프로세서를 통해 10μm 위치를 유지합니다.
초정밀 스테이지를 제어하는
강력한 공압식 액추에이터
DVIA-P 시리즈는 강력한 공압식 서보 밸브 엑츄에이터 때문에 선천적으로 패시브 진동 제어 시스템 (passive vibration isolation system) 보다 강성이 매우 뛰어납니다. 공압식 서보 벨브는 강력하고 강성이 뛰어나기에 스테이지 장비가 탑재된 반도체
장비를 제어할 수 있습니다. 공압식 서보 벨브 엑츄에이터의 또 다른 장점은 많은 양의 공기의 흐름을 컨트롤 하여
충분한 힘(force)을 발생시킵니다. 이 강력한 힘은 스테이지 장비가 탑재된 반도체 측정 장비을 신속하게
안정화 시키고 외부진동을 제어 하는데 탁월합니다.
피드백 및 피드 포워드 제어 알고리즘
제진 시스템이 스테이지에 대한 정보를 미리 알고 있으면, 제진장치 상판에 가해지는 힘과 동일한 반대의 힘을 발생시킬 수 있습니다.
그 결과, 스테이지의 운동에 의해 발생된 힘이 효과적으로 제어됩니다.
가속 피드백 시스템에서 가속도 센서는 장비에 영향을 주는 진동을 지속적으로 탐지하여 감쇠시킵니다.
다시 말해서, 가속도 피드백 시스템은 바닥으로부터 전달되는 진동을 감쇠시켜줄 뿐만 아니라, 스테이지로부터 발생되는 진동을 효과적으로 줄여줍니다.
제진 시스템에 설치된 장비가 진동이나 웨이퍼 로딩 등으로 영향을 받게 되면, 위치센서가 변위를 측정하여 디지탈 컨트롤러로 전송합니다.
센서를 통해 신호를 받게 되면 컨트롤러는 공기압 서보 밸브의 유량을 조절하여 변화된 위치를 원위치로 돌아가게 합니다.
플로어 피드-포워드 시스템은 감지된 바닥진동이 제진장치 상부에 미칠 영향을 예측하여 상쇄력을 발생시킵니다. 피드-포워드 컨트롤
시스템은 제진장치의 기계적 특성, 탑재장비의 무게 등 동적 특성을 분석하여, 피드-포워드 게인을 조율하여 엑츄에이터를 가동시킵니다.
스마트 제어 시스템
DVIA-P 시리즈의 디지털 컨트롤러는 동시 샘플링되는 A/D 19-channel 16-bit 와 D/A 10-channel 24-bit D/A Converters 가 적용되어 있으며,
Texas Instruments' TMS320C6713®225 MHz 디지털 프로세서을 이용하여 실시간으로 6 축의 모든 진동과 진동제어를 위한 제어력을
계산합니다. 계산된 제어력을 공압식 엑츄에이터로 가하여 진동을 효율적으로 제어합니다.
6 자유도(6 DOF) 진동제어
액티브 제진대 내부에 장착된 센서와 액추에이터를 통해 6축(X, Y, Z, PITCH, ROLL, YAW)의 진동을 측정하여 실시간으로 제어합니다.
최상의 성능을 위한 현장 맞춤 튜닝
바닥 진동 수준은 설치 장소, 주변 환경, 불규칙한 상황 및 다양한 진동원에 따라 다릅니다.
대일시스템은 숙련 된 엔지니어가 직접 액티브 시스템의 현장 맞춤 튜닝을 제공하여 최상의 성능과 고객 만족을 보장합니다.
2 Hz 에서 40% – 70% 제진성능
4 Hz 이상부터 90% 이상의 제진성능
| Model | DVIA-P550 | DVIA-P1000 | DVIA-P2200 | DVIA-P4000 | DVIA-P7000 | DVIA-P10000 | DVIA-P20000 | DVIA-P30000 | |||||||||||
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| Isolator Dimensions (L x W x H) |
215 x 160 x 170 mm | 240 x 240 x 110 mm | 350 x 350 x 110 mm | 420 x 420 x 110 mm | 450 x 450 x 120 mm | 450 x 450 x 120 mm | 645 x 600 x 284 mm | 735 x 700 x 284 mm | |||||||||||
| Load Capacity | 270 – 900 kg | 500 - 1700 kg | 1100 - 3700 kg | 2100 - 7000 kg | 3600 - 12000 kg | 5000 - 17000 kg | 11000 - 38000 kg | 150000 - 50000 kg | |||||||||||
| Actuator | Pneumatic Servo Valve Actuator |
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| Maximum Actuator Force | Vertical: 2200 N Horizontal: 390N |
Vertical: 25000 N Horizontal: 480 N |
Vertical: 36260 N Horizontal: 588 N |
Vertical: 68600 N Horizontal: 2646 N |
Vertical: 117600 N Horizontal: 4410 N |
Vertical: 167580 N Horizontal: 8330 N |
Vertical: 372400 N Horizontal: 11760 N |
Vertical: 490000 N Horizontal: 11760 N |
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| Degrees of Freedom | 6 degrees | ||||||||||||||||||
| Active Isolation Range | 0.5 - 150 Hz | ||||||||||||||||||
| Vibration Isolation at 2 Hz | 40 - 70% | ||||||||||||||||||
| Vibration Isolation at ≥4 Hz. | 90% | ||||||||||||||||||
| Input Voltage (V) | AC Single Phase 100 - 240 V | ||||||||||||||||||
| Power Consumption (W) | 100 W | ||||||||||||||||||
| Operating Range | Temperature (°C) | 5 - 50 °C | |||||||||||||||||
| Humidity (%) | 20 - 90% | ||||||||||||||||||
| Required Air Pressure | ≥ 0.5 MPa (≥ 5 bar) | ||||||||||||||||||
| Required CDA | 250 NL/min | ||||||||||||||||||